製品ラインナップ 表面欠陥検査装置オフライン評価用
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アヤハエンジニアリングは、フィルム検査・シート検査・ウェブ検査から、不織布検査・電極シート検査・銅板検査・鋼板検査・金属箔検査までお客様の製品サイズや加工ライン、検出欠陥に合わせたさまざまな欠陥検査装置・表面検査装置・マーキング装置をご提案いたします。

高精度オフライン検査装置 MICRO ACEシリーズ 型式:OMI-UL

特長

分解能0.7~4μm
最大A3サイズ(20.3インチ、300dpi)の製品を高精度で自動検査

  • 超高分解能 0.7~4μm
    高精度専用レンズにより鮮明な画像を撮像
  • 高精度ステージ
    振動や温度変化での誤差が無いようサスペンションを使用した
    耐震機能
  • オートフォーカス
    カメラのピントを検査中に自動補正
  • カラー撮影機能
    カラーカメラによる撮像にも対応
  • 3D顕微鏡
    3D顕微鏡との連動で欠陥の深さ、高さの測定が可能

高精度オフライン検査装置 OMI-SP

クリーンルームを常設しており、製品評価のみ御希望のお客様向けの評価サービスも行っております。

用途

■ 工程改善向け
0.7~4μmの欠陥がm2あたり何個あるかがわかります。
工程改善のための妥当性の評価ができます
使用例:工程ラインの抜取検査に!
■ 目視の検査の代用
欠陥種類ごとに分類される鮮明な画像による埃と欠陥の区別が可能です。
工程改善のための妥当性の評価ができます
使用例:仕上げ工程に!
■ 高精度フィルム向け
3D計測機との連動ができます。
検査MAPからボタン1つで欠陥の深さがわかります。
使用例:開発工程時に!

仕様

分解能 0.7μm ~ 4.0μm
被検査物サイズ A4 ~ A3
カメラ ラインセンサカメラ 8192画素~16000画素
レンズ 高精度専用レンズ または 1倍レンズ
光学系 透過、反射(同軸落射)
光源 専用レンズ内照明 または LED照明
制御テーブル 専用テーブル または 市販部品組合せによるステージ
オプション 3D測定